- фотолитография для ИС
- integrated-circuit photomasking
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — Особый способ перенесения фотографического снимка на литографский камень. Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка. Чудинов А.Н., 1910. ФОТОЛИТОГРАФИЯ воспроизведение путем фотографии изображений на камне и перепечатка этого… … Словарь иностранных слов русского языка
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов. Ф. применяется в полиграфии для фотомеханич. изготовления печатных форм на формном материале (камне или металлич. пластине) в результате фотодубления или… … Физическая энциклопедия
фотолитография{ –} — литография с применением фотографии (для нанесения рисунка на литографский камень) Большой словарь иностранных слов. Издательство «ИДДК», 2007 … Словарь иностранных слов русского языка
Фотолитография в глубоком ультрафиолете — Схема работы литографии в EUV. Фотолитография в глубоком ультрафиолете (Extreme ultraviolet lithography, EUV, EUVL … Википедия
Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из … Википедия
фотолитография — и; ж. 1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографический камень или металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем. 2. Оттиск с литографической печатной формы,… … Энциклопедический словарь
фотолитография — Photolithography Фотолитография Способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Является одним из методов планарной технологии и применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
фотолитография с уменьшением для изготовления фотошаблонов — mažinamoji kaukių fotolitografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced mask printing vok. Fotolithografie mit Bildverkleinerung für Maskenherstellung, f rus. фотолитография с уменьшением для изготовления фотошаблонов, f… … Radioelektronikos terminų žodynas
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия
Фотолитография — 1) специальный фотография, процесс на Фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью (См. Разрешающая способность). Цель Ф. – создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под… … Большая советская энциклопедия
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — (от фото... и литография) 1) Ф. в полиграфии фотомеханич. способ изготовления формы плоской прямой печати на камне, металлич. пластине, а также оттиск с такой формы. Методы Ф. применяют и в технологии изготовления миниатюрных электронных… … Большой энциклопедический политехнический словарь